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Mitutoyo開發出世界上精度較高的非接觸式影像測量儀
作者:szdasing 來源:m.jwih.com.cn 日期:2023/4/14 10:20:02 人氣:4394
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Mitutoyo開發出世界上最高測量精度為(0.3+L/1000)μm(L為被測量物體長度)的非接觸式影像測量儀(圖)。該公司計劃將其做為“QuickVision(QV)系列”的最高端機種“Ultra QV(暫定名)”2000年10月推向市場。標準系統價格為3000萬日元,預計第一年向半導體、平面顯示器以及精密模具制造商等銷售20臺。另外,該產品還將參加2000年6月14日~16日在橫浜舉行的“納米級光學技術博覽2000(第37屆全日本光學測量儀展)”展覽會。
該產品,將用于高精度3維測量儀的高剛性靜壓空氣軸承用于各軸的定向器,從而大幅度提高了直線精度。另外,在基準測長系統中,還配備了采用超高精度結晶玻璃的光學式線性編碼器,這種超高精度結晶化玻璃的熱膨張系數為零,系該公司獨自開發。另外,在統一了主要結構零部件的材質的同時,還將結構本身按照熱對象進行設計,從而減少了溫度變化所帶來的影響。通過這些措施實現了目前世界最高的測量精度。測量范圍為X,Y軸350mm,Z軸為150mm,最小顯示量為0.01μm。
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